半導体製造の「原版」を守る技術
現代社会に欠かせない半導体。その製造過程で非常に重要な役割を果たすのが「レチクル」と呼ばれるものです。レチクルは、半導体に回路パターンを焼き付けるための「原版」のようなもので、この原版に少しでも欠陥があると、最終的な半導体の品質に大きな影響が出てしまいます。
そのため、レチクルが正しく作られているかを確認する「検査」と、寸法が正確かを測る「計測」が非常に重要になります。この検査や計測を行う装置の市場が、今、大きく成長していることが、LP Informationの最新レポートで明らかになりました。
半導体の品質を守る「目」と「ものさし」
半導体製造における品質管理装置は、大きく分けて「検査装置（インスペクション）」と「計測装置（メトロロジー）」の2種類があります。検査装置は、ウェーハ表面の傷やゴミ、パターンの異常など、「何かおかしいところがないか」を検出する役割を担います。一方、計測装置は、回路の寸法や位置のずれなど、「どれくらい正確か」を測る役割です。
これらの検査・計測技術の中でも、現在主流となっているのが「光学検査」という方法です。光を使って半導体の状態を詳しく調べます。
近年、半導体はより小さく、より高性能に進化しており、特に「EUV（極端紫外線）リソグラフィ」という最新技術が注目されています。これは、非常に短い波長の光を使って、これまで以上に細かい回路パターンを描く技術です。EUV技術に対応したレチクルは、7nm、5nm、3nm、さらには2nmといった最先端の半導体製造に不可欠であり、その品質を保証するレチクル検査・計測装置の重要性がますます高まっています。
精度を追求し、AIが融合する産業
レチクル検査・計測装置の産業は、「究極の精度」と「高速な処理能力」を追求していることが大きな特徴です。髪の毛の太さよりもはるかに小さい、1ナノメートル未満の欠陥すら見つけ出し、それを瞬時に分析する必要があります。
この高度な要求に応えるため、光学技術、機械技術、そしてAI（人工知能）による画像解析やデータ分析といった、さまざまな技術が一つに融合しています。特にEUVリソグラフィの普及により、これまで見つけるのが難しかった欠陥にも対応するため、新しい光学設計や高感度センサーの開発競争が激しくなっています。AIの活用は、検査の効率を上げ、自動化を進める上で欠かせない要素となっています。
急成長する市場規模
LP Informationの最新報告によると、世界のレチクル検査・計測装置市場は、2025年から2031年にかけて年平均成長率（CAGR）10.9%で拡大し、2031年には市場規模が44.34億米ドル（約6,600億円）に達すると予測されています。この力強い成長の背景には、半導体がどんどん小型化していることと、EUVリソグラフィに対応する装置への需要が急増していることがあります。
特に、5nm以下の最先端の半導体を製造する工場では、レチクルの品質が「良い製品ができる割合（歩留まり）」に直結するため、検査・計測装置への投資意欲が高い傾向にあります。北米とアジア太平洋地域がこの市場の成長を特に牽引しており、技術開発の中心と量産拠点の両面で市場拡大が進んでいます。
市場をリードする主要企業
レチクル検査・計測装置の市場は、特定の企業が大きなシェアを占める「寡占状態」にあります。LP Informationの調査によると、2024年時点でLasertec、KLA、Carl Zeiss AGの3社が、世界の売上シェアの約81.0%を占めています。
-
Lasertec：EUVレチクル検査装置の分野で世界的にトップの地位を確立しています。
-
KLA：長年にわたり、光学検査と計測の技術で高い評価を得ています。
-
Carl Zeiss AG：優れた光学系設計と高精度レンズの供給で、他の装置メーカーの製品開発にも深く関わっています。
これらの3社が、業界全体の技術標準を事実上リードしていると言えるでしょう。
EUV時代と「賢い」検査の進化
今後のレチクル検査・計測装置市場は、EUV露光技術の量産がさらに拡大することで、新たな発展期を迎えるでしょう。EUV対応レチクルの欠陥を見つける精度や、光の透過率を測る技術がより高度になることが求められています。
同時に、装置自体も「賢く」進化しています。AIによる自動的な欠陥の分類、リアルタイムでのデータ分析、そしてクラウドを使った品質の監視など、装置は単に検査を行う機械から、「自ら判断するシステム」へと変化しつつあります。省エネ設計や部品の再利用など、環境への配慮やコスト効率の改善も業界共通の課題として取り組まれていくでしょう。
半導体製造の最前線を支えるこの装置産業は、ナノメートルレベルの精密な光学技術とAIの知能が融合することで、これからの10年でさらに高い精度と価値を生み出す原動力となるに違いありません。
レポート詳細情報
この市場調査レポートの詳細は、以下のリンクから確認できます。
LP Information 会社概要
LP Informationは、業界情報と市場戦略サポートを提供する世界有数のプロバイダーです。市場動向分析レポートや最新のグローバル業界トレンドの概要を提供し、戦略立案や公式情報報告に役立つサポートを行っています。
お問い合わせ先
-
電子メールアドレス：info@lpinformationdata.com
